在不同類別的傳感器中，基于感應(yīng)的器件具有一些主要優(yōu)點(diǎn)，因此特別適合于惡劣條件下操作，例如潮濕或骯臟的環(huán)境。近年來，業(yè)界提出了幾種電感式傳感器，包含用于不同應(yīng)用的小型平面線圈。

　　但是，隨著器件尺寸的減小，高電磁性變得越來越難以實(shí)現(xiàn)。事實(shí)上，MEMS測(cè)量的平面電感通常只有有限數(shù)量的匝數(shù)（通常<50），并且自感值約為幾百nH。在這種情況下，技術(shù)關(guān)鍵點(diǎn)是增加平面線圈的匝數(shù)密度，同時(shí)保持導(dǎo)體截面足夠大，以限制歐姆損耗和焦耳熱。無論何時(shí)平面線圈必須與鐵磁元件相互作用，應(yīng)用都需要強(qiáng)大的電磁耦合。目前的工作旨在通過提出并驗(yàn)證一個(gè)簡單有效的流程來完成上述任務(wù)，以解決這個(gè)問題。